산학협력 연구로 플렉서블 초미세 패턴 구현 기술 개발
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산학협력 연구로 플렉서블 초미세 패턴 구현 기술 개발
  • 승인 2020.02.13 17:47
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LG디스플레이-연세대, 산학협력으로 새로운 포토리소그래피 기술 개발
심우영 연세대 교수팀, 네이처 커뮤니케이션즈 최신호에 연구 논문 게재

(AI타임스=김순기 기자) LG디스플레이(대표 한상범)는 산학협력 차원에서 인큐베이션 과제를 지원한 심우영 연세대학교 신소재공학과 교수 연구팀이 세계적인 과학저널인 네이처 커뮤니케이션즈 최신호에 그동안의 연구성과를 담은 논문을 게재했다고 13일 밝혔다.

심 교수팀이 '엘리스토머 포토 마스크를 이용한 근접장 서브 회절 포토 리소그래피'라는 제목으로 발표한 논문에는 유연하고 투명한 타입의 새로운 포토마스크를 이용해 기존 포토마스크로는 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피 기술을 담았다. 평판디스플레이(LCD)는 물론이고 유기발광다이오드(OLED)에도 적용할 수 있는 기술이다.

연구팀은 유연하고 투명한 타입의 새로운 마스크와 사용 공정을 개발, 기존 디스플레이 노광장비로 기존의 100분의 1에 불과한 수십 나노미터(nm) 크기의 초미세 패턴을 구현할 수 있도록 했다.

초미세 패턴으로 만드는 전자회로는 고해상도를 구현하는데 반드시 필요하다. 유연한 재질의 마스크는 플렉서블 기판에도 적용할 수 있어 다양한 형태의 디스플레이를 생산할 수 있도록 해준다.

심우영 연세대 교수(사진=LG디스플레이)
심우영 연세대 교수(사진=LG디스플레이)

공동저자인 장기석 LG디스플레이 박사는 "이번에 개발한 포토리소그래피 기술은 미래 디스플레이 기술발전에 크게 기여할 수 있는 종자기술"이라고 설명했다.

심우영 교수도 "빛의 회절한계를 극복할 수 있는 포토리소그래피 공정을 개발한 것"이라면서 "곡면 기판에도 적용할 수 있어 향후 다양한 형태의 소자 공정에 활용할 수 있을 것으로 기대된다"고 말했다.

한편 LG디스플레이는 지난 2015년부터 산학협력 프로그램으로 'LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램'을 운영하고 있다. 기업과 대학이 함께 디스플레이 기반 기술과 제품 아이디어를 모으고 산업화할 수 있도록 기획,연구,검증하는 프로그램이다. 

김순기 기자
김순기 기자 편집국장 soonkkim@aitimes.com 다른기사 보기

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