한국과학기술원(KAIST, 총장 이광형)은 이정철 기계공학과 교수 연구팀이 열전달 측정과 공정 개발이 가능한 실험 플랫폼 '열원-미소채널 통합 공진 센서'를 개발했다고 21일 밝혔다.
해당 플랫폼은 마이크로히터와 유동 채널이 탑재된 미세전자기계시스템 소자로 이뤄졌다. 극소량 액체 열전달 관련 측정과 공정 개발 실험이 가능하다.
연구팀은 이 플랫폼으로 20pL(피코리터, 1조분의 1리터) 이하 액체의 열전도도, 밀도, 비열을 동시에 측정할 수 있는 방법론을 만들 수 있었다. 1000개 데이터를 1분 안에 수집, 정확도 높은 계측도 구현했다.
또 처음으로 고속 카메라 같은 장비 없이 노즐 측정만을 이용한 미립화 액적토출 공정 모니터링도 만들었다.
연구팀은 "세포 단위 측정 분야에만 사용된 극미량의 질량 측정 기술을 물리 화학적 측정 센서, 나노 패터닝 공정 제어, 열전달 제어 등 다양한 분야에 응용할 수 있다는 데 의의가 있다"고 밝혔다.
향후 기존 상용 장비를 대체할 수 있는 고성능 측정 센서 개발 등을 촉진할 것으로 전망했다.
이번 연구는 한국연구재단 중견연구자 지원사업과 기초연구실 지원사업, 산업기술평가관리원 시장선도를 위한 한국 주도형 K-센서 기술개발 사업 지원으로 수행했다.
김미정 기자 kimj7521@aitimes.com
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