가우스랩스(대표 김영한)는 반도체 제조 과정에서 생산 공정 단계를 점검하는 인공지능(AI) 기반 가상 계측 솔루션 ‘파놉테스 VM'의 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다.
가우스랩스는 SK하이닉스가 투자한 산업용 AI 전문 기업으로, 2022년 파놉테스 VM 1.0 버전을 출시한 바 있다. 이를 SK하이닉스는 같은 해 12월부터 양산 팹(Fab)에 도입해 박막 증착 공정에 적용했다. 그 후 파놉테스 VM을 통해 가상 계측한 결과값을 활용해 공정 산포를 약 29% 개선했고, 수율도 향상하는 효과를 얻었다고 전했다.
박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 얇은 피막을 입히는 공정으로 박막의 두께와 굴절률이 반도체의 품질과 직결되는 매우 중요한 단계다.
기존 성과를 바탕으로 SK하이닉스는 파놉테스 VM2.0을 식각 공정까지 확대 적용하기로 했다. 식각 공정은 웨이퍼에 부식액을 부어 불필요한 부분을 제거해 회로 패턴을 만드는 과정이다.
식각공정은 이전 공정의 영향을 크게 받기 때문에, 가우스랩스는 앞서 진행된 공정의 데이터를 활용해 예측하고자 하는 공정을 모델링하는 '멀티 스텝 모델링(Multi-step Modeling)' 기능을 추가했다.
가우스랩스 기술진은 유사 공정의 데이터를 통합해 가상 계측에 활용, 데이터 부족으로 발생할 수 있는 문제를 최소화한 '유사 공정 통합 모델링' 기능과 데이터 특성에 따른 최적의 예측 알고리즘을 자동으로 선택해주는 '알고리즘 자동 선정' 기능도 추가해 가상 계측 품질과 사용자 편의를 동시에 개선했다고 설명했다.
김영한 대표는 “지난 4년간의 노력들이 가장 정밀한 제조 산업이라 불리는 반도체 분야에서 의미 있는 결과를 내고 있는 만큼, 여기서 얻은 산업용 AI 기술력을 바탕으로 글로벌 시장을 개척해 나가겠다”라고 전했다.
박수빈 기자 sbin08@aitimes.com
