일본 도쿄오카공업(TOK)이 한국에서 포토레지스트 생산량을 늘린다. 올해 말까지 생산량 두 배 이상 확대가 목표다. 생산량 증대 품목에는 2019년 일본 정부가 수출 규제 품목으로 지정한 극자외선(EUV) 포토레지스트도 포함된 것으로 알려졌다.
16일 업계에 따르면 TOK 한국법인인 티오케이첨단재료는 인천 공장 생산능력 확대를 시행하고 있다. 대상은 EUV, 불화아르곤(ArF), 불화크립톤(KrF) 포토레지스트 등 첨단 제품이다.
특히 한국에서 점유율이 높은 EUV용 포토레지스트 생산량을 크게 높일 것으로 보인다. 업계 관계자는 "TOK가 인천 공장 생산량 확대를 연내 두 배 이상 확대하는 것을 목표로 삼고 있다"며 "미세공정에 사용되는 EUV 포토레지스트 수요가 높아 이 제품의 생산 확대가 예상된다"고 밝혔다.
EUV 포토레지스트는 반도체 기판에 바르는 감광액이다. 웨이퍼에 빛으로 회로 모양을 반복적으로 찍어내는 노광 공정에 쓰인다. 빛으로 회로 모양을 찍어내면 이를 보호하기 위해 바르는 것이 포토레지스트다. 생산은 주로 일본에서 이뤄진다. TOK, JSR, 신에츠 등 일본 업체 의존도가 90%에 가깝다.
일본 정부는 2019년 7월 한국 수출 시 포토레지스트를 일반포괄허가 대상에서 개별허가 대상으로 변경하며 한국기업을 압박한 바 있다. TOK는 일본 정부의 조치로 수출길이 막히자 지난해부터 한국에 소재한 인천 공장에서 EUV 포토레지스트를 생산하기 시작했다. 삼성전자가 TOK의 주요 고객사이어서다. 지난해 TOK가 생산한 포토레지스트 중 25%가 한국과 대만에 판매된 것으로 알려졌다.
업계에서는 TOK가 올해 생산량 확대를 추진하는 이유를 한국 시장에서의 경쟁력 강화와 점유율 확보를 위해서라고 보고 있다. 한국은 일본 정부가 EUV 포토레지스트를 수출 규제 품목으로 지정하자 소재 국산화를 진행했다. 일본 외 해외 기업에 투자 유치도 시도했다. 이러한 한국의 움직임에 시장 점유율을 타 기업에 뺏길 수 있다는 위기감이 회사 내에서 고조되고 있다는 것이다.
실제로 산업통상자원부는 일본 수출 규제 조치 이후 미국 듀폰과 접촉해 투자 유치를 확정했다. 듀폰은 2800만달러(약 316억 8000만원)를 투자해 충남 천안에 EUV 포토레지스트 생산 시설을 구축했다.
SK머티리얼즈, 동진쎄미켐 등 국내 기업도 EUV 포토레지스트 개발에 나섰다. 업계에 따르면 SK머티리얼즈는 EUV 포토레지스트 개발을 진행하고 있다. 삼성전자와 SK하이닉스는 SK머티리얼즈가 개발한 EUV 포토레지스트 샘플을 반도체 라인 일부에 적용해 테스트를 진행할 예정이다.
동진쎄미켐도 EUV 포토레지스트 개발을 진행 중이다. 이 업체는 EUV 포토레지스트 전 단계인 ArF 포토레지스트를 2010년 국내 최초로 개발·생산했다. 단 동진쎄미켐의 경우 EUV 포토레지스트 개발에 다소 시간이 걸릴 수 있다는 게 업계의 분석이다.
TOK 측은 "한국에서 포토레지스트를 얼마만큼 생산하고 있는지 정확히 밝힐 수는 없다"면서도 "한국이 반도체 주요 시장인 만큼 포토레지스트 공급량을 높이기 위한 계획은 진행하고 있다"고 밝혔다.
AI타임스 김동원 기자 goodtuna@aitimes.com
